什么是脉冲激光沉积?

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/09/21 17:50:00
什么是脉冲激光沉积?它的原理又是什么呢?

简单来讲:
脉冲激光沉积,就是将激光瞬间聚焦于靶材上一个较小面积上,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在温度较低的基地上沉积,达到成膜的目的的一种手段。