集成电路检测能用金相显微镜吗？

WAFER通常都用金相显微镜做些缺陷检测,如果是成品外观用立体显微镜比较多

可以，但还要看您那里的集成电路有多大，工件大小是多少，要求多大倍数，在这种工件检测方面还可以用到体视显微镜，他的工作距离比金相显微镜大，景深也比较大，便于大工件的观测。