SEMI f47曲线 是什么

何谓 SEMI F47 --电压瞬降测试：
电压瞬降通常是指：负载端电压值降到额定电压值的90%以下，并持续 0.5~60 cycles，在对于电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业，一旦发生电压瞬降，不仅敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害，也会使得制程中断，而产生极大的损失，为了能保护您敏感的设备能够免于电压瞬降的危害，对电力供应之可靠度与电源品质有较严格的要求，在 SEMI F47-0200 中规定半导体制程设备对电压瞬降的耐受时间在电压为50%标称值时为0.05秒至0.2秒、0.2秒至0.5秒间的容许电压为标称值之70%、0.5秒至1.0秒之容许电压为80%标称电压值。

SEMI F47 目的：
减少或消除用电池储存装置，来达到电压突波消除的方法。
即使电源系统完全故障，安全连动系统也可以动作。