关于不锈钢中频磁控溅射真空镀膜

首先要说的是,中频电源主要用于如TiC,或CrC之类靶材易中毒的膜层,如果是镀纯钛或纯铬,那么,用直流电源就足够了.又或是TiN, CrN之类镀膜, 当然中频电源更好,但是用直流电源,特别是薄涂层,也可以做到.
不锈钢分奥氏体不锈钢(如SUS316, SUS304, 1Cr18Ni9Ti)和马氏体不锈钢(如136,403,3Cr13)两种.对于装饰性件,如表带\表壳,一般使用的是奥氏体不锈钢,对于塑胶模具,特别是镜面模具,则很多使用马氏体不锈钢.两种材料镀膜方法有不同.根据你提问猜测,你需要的是奥氏体不锈钢材料上镀CrC, TiC装饰涂层.
1.这些材料硬度不高, 而CrC, 特别是TiC硬度很高,而且与基体结构相差过大,所以前面一定要打纯金属底层,和过渡层,才能保证结合力.
2.现场操作中,CrC比TiC容易保证结合力.如果是非光面产品,可以选用较高的偏压离子清洗.对于TiC,要保证结合力最好能加热到300度成膜, 在180度下使用脉冲偏压电源也可以得到较好的效果.
3.镀钛和铬,一般得到金属本身的颜色.要做颜色,就要加入相应的反应气体.如加入氮气,控制氮气分压,则分别得到银色的CrN,黄色的TiN;如加入乙炔,则根据乙炔加入量与氩气比例的由少到多,分别得到灰色或黑色的CrC,TiC.要注意防止设备漏气,增加遮挡不可见光的屏蔽条,否则,颜色会含杂色.
4.中频频率一般用40~50KHz.频率太高,会降低溅射率,频率太低,靶材容易中毒;
5.以TiC为例,不锈钢中频溅射成膜的主要流程是:前清洗,上架,预抽真空,加热,偏压电源高压离子清洗,偏压电源常压离子清洗,镀Ti底层,镀TiN过渡层,镀TiC.包装前,有需要的,还要做UV喷涂.
实际上,现场处理千变万化,很难用简单文字面面具到.如果你是有实际上线需要,那么建议你还是挖一个现成的镀膜高手,或则自己去专业镀膜厂实际干一两个月,才是最好的解决办法.

嘿嘿 ，很难有人说的清楚...把分给我吧，反正你也拿不回去了！！！首先要说的是,中频电源主要用于如TiC,或CrC之类靶材易中毒的膜层,如果是镀纯钛或纯铬,那么,用直流电源就足够了.又或是TiN, CrN之类镀膜, 当然中频电源更好,但是用直流电源,特别是薄涂层,也可以