请问:单晶硅生产线主要设备有哪些,每项设备的主要厂家、设备型号,影响最终生产效率的主要因素

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/09/22 22:38:49
另请问
常州华盛天龙机械公司 DRXF-85型单晶炉
DRF-85
上海汉虹 FT-CZ2008
的主要性能差别在哪里

要建设单晶硅生产线,除了硅晶体生长设备外,还一般要建起相关的配套设施:供配电系统、冷却水系统、惰性气体供应系统,真空系统以及生产环境所需的空调空气过滤系统,

常见的硅晶体生长炉有:上海汉红 浙江晶胜 北京经运通 华胜天龙 西安理工等
像自动化程度比较高的有 浙江晶胜 上海汉红 美国凯科斯等当然价格是很昂贵的,国产8寸的炉子价格在一百五十万以上 进口合资的更高一般两百万以上。单晶炉的设备型号主要以炉子的装料量和拉制晶棒的直径来定义:85 90等

国产半自动的炉子主要有:经运通 西安理工 晶仪 晶龙和天龙等,这些炉子只能在等径和收尾的时候自动运行人工干预的程度比上面提到的炉子要大,但价格便宜,结实来用所以也有很多厂家在用。

要拉出一根高品质的晶棒,除了运行可靠、控制平稳的炉子外更大程度是和所用原料、配料工艺以及保温热场有关,所以除了挑选合适的单晶炉外,我们还需要对原料的采购、配料工艺的制定、热场和石英坩埚的选择有严格要求。