有哪些半导电薄膜

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/09/24 04:19:00
在半导体工艺中经常用到哪些半导电薄膜？

是指半导体薄膜？还是半导电的薄膜？
半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜。

半导体薄膜主要有外延生长的Si单晶薄膜和CVD生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜。
绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。
金属薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜。
工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜。

太笼统了，请说具体点了！