真空镀膜时溅射出来的靶材原子离化后带何种电性

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/09/23 02:21:43
如题
氩离子轰击靶材表面，溅射出靶材原子，原本是电中性的。
但是经过等离子区中受高能电子的轰击碰撞后，部分原子会被离化，请问离化后靶材离子带什么电性。
根据朱在江湖的回答，我想提出这样的后续问题。
我们的工件偏压是负的，这样的话，单个原子被离化成正离子后，应该有利于膜层的结合力。
团状的原子团离化成负电荷离子团后，应该会影响膜层结合力。
不知道这样的观点对不对。
那么怎么样来抑制原子团的形成或是抑制原子团的离化呢？
（问题加分是一定的，还请梦回魂归放心）

溅射出来的靶材，并不一定是单个离子状态，应该是团状为主的。所以在经过电离区时，单个原子如果被电离的话肯定是正离子，团状的话也有可能吸收电子而带负电荷的。

楼主不厚道，这么强的问题一点分也不给。
给你个提示：等离子壳层。
想得到详细的解释跟我联系。
任何处于等离子体中的物质都处于负电位，
原因很简单，在等离子体中，电子的动能大于正离子的动能